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【百家大讲堂】第339期:“中国芯“制造面临挑战和机会

来源:   发布日期:2020-12-11

江苏体彩网讲座题目:“中国芯“制造面临挑战和机会

主讲人:吴汉明院士

时间:2020年12月14日15:30

地点:信息科学实验楼202报告厅

江苏体彩网主办单位:信息与电子学院 校科协

主讲人简介:


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吴汉明,中国工程院院士,浙江大学微纳电子学院院长。芯创智(北京)微电子有限公司董事长。

江苏体彩网吴汉明院士,1976年毕业于中国科学技术大学;1987年毕业于中国科学院力学研究所,获博士学位。曾在美国UC-Berkeley进行博士后研究,并先后入职Intel、中芯国际等公司作为技术骨干从事集成电路制造工艺研发,曾任中芯国际研发副总裁。

吴汉明院士长期工作在我国集成电路产业链重要环节,并作出突出贡献。主持、指导了包括国家重大专项的0.13微米至14纳米七代芯片工艺研发,负责攻克了包括刻蚀等一系列关键工艺难点,工艺集成后实现产业化。突破了长期以来我国高端芯片工艺完全依赖进口的制约,与世界水平差距明显缩小。负责我国首台刻蚀机研发项目的理论工作,并成功产业化。建立的非平衡低温等离子体混合模型/整体模型成为工艺理论依据,并作为教案被世界著名大学公开发行的教科书采用。发表著作论文116篇。授权发明专利67项。曾获得“北京学者”、“十佳全国优秀科技工作者” 和“全国杰出专业技术人才”等荣誉。作为主要成员,三次获国家科技二等奖,多次获省部科技奖。



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